E-ACT800高周波パルススパッタリングPVD/PACVD（DLC）装置

Product Introduction

JuchuangのE-ACTシステムをご紹介します。高精度金型および部品に対し、高密着性DLCコーティング、極限低摩擦、耐摩耗性を実現するように設計されています。

現代の高精度製造において、摺動機構、プラスチック金型、非鉄金属成形金型は強い運転応力にさらされています。標準的な硬質コーティングは十分な潤滑を提供できないことが多く、深刻な凝着摩耗、材料の付着、高い摩擦を引き起こします。

これらの極端なトライボロジー上の課題を克服するため、江蘇ジュチュアン自動化技術有限会社はE-ACT高周波パルススパッタリングPVD/PACVD（DLC）装置を開発しました。当社の主力ハイブリッド堆積プラットフォームであるE-ACTシリーズは、先進的な高周波マグネトロンスパッタリングとプラズマ支援化学気相成長（PACVD）を統合しています。このシステムは、高性能ダイヤモンドライクカーボン（DLC）および高度な炭素系複合コーティングを堆積させるように特別に設計されており、ガラスのように滑らかな表面と超低摩擦係数を実現します。

1. コア技術力

E-ACTシステムは低温真空コーティング技術の大きな進歩を代表し、5つのコア運転上の利点を提供します：

強力なコーティング密着性

従来、DLCコーティングは内部応力により鋼基板で剥離する問題がありました。E-ACTシリーズは高エネルギーパルスイオンクリーニングと先進的な傾斜層遷移設計を利用し、基板と外側の炭素層の間に非常に強い原子結合を確保します。

高いコーティング密度

高周波パルス電源と独自の磁場配置を組み合わせることで、システムはガスイオン化率を大幅に向上させます。これにより、非常に緻密で欠陥のないコーティングが形成され、微小摩耗と酸化に対して優れた保護を提供します。

極めて低い摩擦係数

堆積されたDLC層は乾式潤滑効果を持ち、摩擦係数を0.1未満に低下させます。これにより機械的な抵抗が大幅に減少し、運転中に摺動部品が付着または固着するのを防ぎます。

優れた耐付着性と耐食性

炭素系構造は非常に不活性で、冷間溶接と付着性材料の移動（例えばアルミニウムや銅の金型表面への付着）を防止します。さらに、化学的攻撃と酸性プラスチックのガス放出に対して優れたバリアを形成します。

極限負荷下での安定した性能

高速、高負荷、乾式運転条件下でも、E-ACTコーティングは高い表面硬度と構造的完全性を保持します。これにより、生産ラインの長期的な運転安定性が保証されます。

2. 多様な産業応用シナリオ

E-ACT PVD/PACVDシステムは、高生産量のジョブショップ、自動車サプライヤー、精密工具メーカーにとって理想的な選択肢です：

アルミニウムおよび非鉄金属スタンピング金型：アルミニウム、銅、亜鉛合金の高速パンチング、絞り、成形金型における材料の引きずりと冷間溶接を防止します。
精密プラスチックおよび射出成形金型：鏡面仕上げのコアピンとエジェクタースリーブを保護し、有毒な液体離型剤を使用することなく部品の離型を容易にします。
ゴム金型製造：ポリマー残渣の堆積を防止し、洗浄サイクルを容易にすることで、複雑なゴム圧縮金型の寿命を延ばします。
重要な摺動機械部品：重負荷エンジンのバルブトレイン、油圧ピストンロッド、精密ポンプインペラー、ロボットジョイント伝達ギアの摩擦と摩耗を最小限に抑えます。

3. 主要技術仕様とパラメータ

すべてのE-ACTシステムは、高精度の真空制御とスマート電源で設計されており、バッチ間の再現性を保証します：

有効真空チャンバーサイズ：直径930mm、高さ1000mm。この広々とした垂直構成は、自動車部品の大量バッチと大型プラスチック金型に最適化されています。
最大積載量：重負荷回転カルーセル上で最大800kgのワークピースを支持します。
コーティングバッチサイクル時間：バッチあたり約5時間で、大量契約コーティングショップに迅速なターンアラウンド時間を提供します。
堆積システム技術：高周波パルスマグネトロンスパッタリングと高効率PACVDを組み合わせ、独自の制御ソフトウェアで自動プロセス実行を行います。

4. ハードウェア統合とレイアウト

E-ACTシステムの物理的アーキテクチャは、産業用の耐久性とスペース効率のために構築されています。機器は完全に統合されたデュアルキャビネット設計を特徴としています：

左側処理ゾーン：高度に自動化された垂直ドアを備えた主な円筒形真空チャンバーで構成されています。この構成により、最大800kgの重い金型ブロックをクレーンで迅速に積載できます。
右側電源およびガスキャビネット：独自の高周波パルス発生器、プロセスガス用の高精度質量流量制御装置（MFC）、集中PLCキャビネットを収容しています。
中央制御端末：ジュチュアンのインテリジェントソフトウェアを実行するインタラクティブな産業用タッチスクリーンを特徴とし、リアルタイムの圧力、温度、プラズマ放電曲線を表示します。