E-RPNS600T 二室式高周波パルスプラズマ窒化炉

E-RPNS600Tは、大量生産向けに設計された先進的な2室式ベル型高周波パルスプラズマ窒化炉です。交互に動作する2室を備えた高集積アーキテクチャを特徴とし、ローディング、アンローディング、冷却にかかるダウンタイムを大幅に削減し、航空宇宙級の処理品質と併せて最大限の設備利用率を実現します。

技術仕様概要

• 炉アーキテクチャ：2室式ベル型構成（交互運転）

• 電源種別：高周波パルスDC／プラズマ源

• 運転モード：連続交互2室ロード・処理システム

• 処理時間：1～2時間（用途に依存）

• 拡散層深さ：＞100μm

• 最大カスタム温度：最大900℃（チタン及び特殊合金用）

• プロセス互換性：プラズマ窒化、窒化浸炭、後酸化

• 産業規制適合：AMS 2750／AMS 2759航空宇宙規格

主な特徴と技術的優位性

1. 高集積システムアーキテクチャ

• 統合制御基盤：単一の共有電気制御システム、真空排気システム、プロセスガス供給システム、炉昇降・搬送機構を統合し、同期運転を実現します。

• コンパクトな設置面積：工場レイアウトを合理化し、床面積と電力配分効率を最適化します。

2. 交互2室運転（利用率2倍）

• 連続処理サイクル：一方の室が窒化プロセス中に、他方の室でローディング、アンローディング、冷却を行うことができます。

• ゼロダウンタイム効率：従来の炉の加熱・冷却待ち時間を排除し、設備利用率を最大化し生産性を2倍に向上させます。

3. インテリジェントAI制御と高速窒化

• AIマイクロプロセッサ制御：先進的なAIチップを搭載し、全プロセスの自動制御を実現し、パラメータ精度の一貫性と運転の信頼性を確保します。

• 超高速サイクル時間：高いプラズマイオン化効率により処理サイクルが大幅に短縮されます。窒化作業は最短1～2時間で完了し、従来法に比べ効率が飛躍的に向上します。

4. 深い拡散と優れた組織

• 超深い拡散層：100μmを超える窒化拡散層深さと優れた結合強度を実現し、疲労寿命と耐摩耗性を大幅に向上させます。

• 優れた密度と均一性：均一なプラズマ場分布により多孔質やピンホール欠陥が防止され、緻密で欠陥のない化合物層を生成し、バッチ間の一貫性に優れます。

5. 多様なプロセス適応性と航空宇宙規格適合

• アークレス・環境対応：純窒素ガス化学を使用しアークリスクゼロで、世界の環境対応産業規格を満たします。

• 多プロセス対応：プラズマ窒化、窒化浸炭、プラズマ窒化＋後酸化処理に完全対応します。

• 高温カスタマイズ：チタン合金、タンタル合金、高温特殊金属の特殊窒化のため、最大900℃までのオプションカスタム構成が可能です。

• 航空宇宙規格認証：AMS 2750およびAMS 2759航空宇宙品質規格に完全に準拠して製造されています。